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    “中国芯”关键材料国产化

    氯代叔丁烷(TBCl)
    • 英文名: 2-Chloro-2-methylpropane (简称TBCl)
    • 熔点: -25℃
    • 沸点: 51-52℃
    • 蒸气压: 0.32kPa(20℃)
    • 存储温度: 安全温度≤45℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    1-己烯(Hexene)
    • 英文名: 1-Hexene (简称Hexene)
    • 熔点: -140℃
    • 沸点: 60-66℃
    • 蒸气压: 413.3 hPa (37.7℃)
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Electronic Grade
    全氟癸基三氯硅烷(FDTS)
    • 英文名: 1H,1H,2H,2H-Perfluorodecyltrichlorosilane(简称FDTS)
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 224℃
    • 蒸气压: 无资料
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    1,2-二(三氯甲硅基)乙烷(BTCSE)
    • 英文名: 1,2-Bis(trichlorosilyl)ethane (简称BTCSE)
    • 熔点: 28℃
    • 沸点: 202℃
    • 蒸气压: 0.492mmHg at 25℃
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    叔丁基膦(TBP)
    • 英文名: Tertiarybutylphosphine (简称TBP)
    • 熔点: 4℃
    • 沸点: 54℃
    • 蒸气压: lgp(Torr) = 7.552-1529/T(K)
    • 存储温度: 安全温度≤37℃
    • 产品等级: Adduct
    四氯化铪(HfCl?)
    • 英文名: Hafnium(IV) chloride (简称HfCl?)
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 46℃
    • 升华温度:319℃
    • 蒸气压: 1mm Hg(190℃)
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
    三氯化铝(AlCl?)
    • 英文名: Aluminium chloride
    • 熔点: 194℃
    • 沸点: 180℃
    • 蒸气压: 133.3Pa(99℃); 13.3KPa(151℃)
    • 储存温度:未体现
    • 产品等级: Adduct
    四(甲乙氨基)锆(TEMAZ)
    • 英文名: Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium(简称TEMAZ)
    • 熔点: 无资料
    • 沸点: 81℃ (0.1hPa)
    • 蒸气压: 1 Torr at 70℃
    • 存储温度: 安全温度≤51℃,建议储存温度0-25℃
    • 产品等级: Adduct
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